Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik beschreibt das Lehrbuch detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen. Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich der Aktorik. Im Internet finden sich unter http://www.mescheder.net/ulrich Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.
Die Zielgruppen:
Studierende der Elektrotechnik und Physik mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, Praktiker in der Industrie
Über den Autor:
Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.
Klappentext
